真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空單調、真空脫氣(鋼水處理)等低真空設備需要低真空泵送，工作壓力高，排氣量大。

該低真空泵的主泵為往復式真空泵、油封真空泵、蒸汽輻射泵、水環泵、羅茨泵等。

根據廢氣的清潔度、濕度或其他特殊要求，干螺桿真空泵還必須配備必要的集塵器、單調儲罐等部件。

水蒸氣在收縮過程中凝結成液滴，與泵混合形成懸浮液，不僅降低了真空度，而且使泵腔和轉子生銹，破壞密封面，制造泵。

限制真空度。因此，機械泵防止水蒸氣污染非常重要。預防方法如下:

(1)選用帶氣鎮設備的油封機械泵；

(2)充油分離器、離心分離器或油水分離器，間歇混合水機械泵油，將處理后的油注入泵中使用；

(3)采用吸水性強的單調劑；

(4)液氮冷陷阱不僅能有效吸收水蒸氣，還能防止機械泵油回流到高真空室。

油分散泵真空系統泵真空系統。

油分散泵真空系統是應用最廣泛的真空系統，真空范圍為1.3*10-3~1.3*10-5Pa。油分散泵真空系統構成各種真空吸塵器。

長期使用該設備后，常見的缺陷是真空不能抽空，或者真空不能抽到原來的極限真空度。真空室內壁油污染和真空技術。

預防方法如下：

(1)定期清潔真空室；

(2)間歇清洗油封機械真空泵和油金屬分散泵。